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ZKSG 系列真空过滤器成功运用于半导体行业

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上海善策机械科技生产的ZKSG系列混合式除尘器成功运用于上海合晶硅材料有限公司。其单晶炉系列:TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多种炉型近百台产品都使用这种除尘器。实践证明,它的主要优点是除尘效率高,能适应不同抽气阶段真空度的要求,容尘量大。该除尘器综合运用离心力、惯性碰撞、接触阻留、布朗扩散这几种除尘机理。

在工业中使用除尘器收集灰尘已经有了上百年的历史,但是,到目前为止,还没有一种不论在什么条件下都能够圆满解决问题的除尘器。因此,要根据不同的具体情况选择设计适用的除尘设备。对尘埃问题,世界各真空设备公司都有各种性能要求和规格的除尘器、过滤器供用户选择。国内还没有专门生产性能规格齐全的除尘器、过滤器的工厂,大都由用户自行设计加工。设计人员必须掌握除尘技术的基本知识,考虑许多技术经济因素才能满足实际应用的要求。

单晶炉是单晶体生长设备。单晶体生长要求在真空和惰性气体中进行。真空装置应能保证炉体内热真空度达5×1024mm 汞柱以上。如果使用惰性气体作保护气氛,炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时,抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘装置。

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